硅与其他 。资料中半导体。集成资料在 。电路集成电路 。比较使用中的资料中比较可从以下维度打开剖析:
一、根底特性比照。集成
资料 。 | 带隙(eV)。比较 | 电子迁移率(cm²/(V·s))。资料中 | 热导率(W/(m·K)) 。集成 | 击穿电场(MV/cm) 。电路 |
---|---|---|---|---|
。比较硅(Si) 。资料中。集成 | 1.12 。电路 | 1500 。 | 150。 | 0.3。 |
锗(Ge)。 | 0.67。 | 3900。 | 60。 | 0.1 。 |
砷化镓(GaAs)。 | 1.42。 | 8500 。 | 55。 | 0.4。 |
碳化硅(SiC) 。 | 3.26。 | 900 。 | 490。 | 3.0。 |
氮化镓 。(GaN)。 | 3.4。 | 2000。 | 130 。 | 3.3。 |
二 、中心优势范畴 。
。硅资料。 。
。干流逻辑芯片。:全球95%的集成电路选用硅基制作,因其本钱低(12英寸晶圆本钱仅为砷化镓的1/10) 、工艺老练(支撑3nm制程)14 。
。集成度优势。:硅晶圆直径可达300mm ,单晶缺点率低于0.1/cm²,合适超大规模集成814 。
。氧化层特性。:天然生成的SiO₂绝缘层(介电常数3.9)是 。MOSFET。器材的抱负介质28。
。化合物半导体。 。
。高频使用